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2017一建機電知識：什么是MEMS壓力傳感器？
MEMS壓力傳感器是具有電源、接口電路、執(zhí)行器、微型傳感器和信號處理的微型的機電系統(tǒng)。它可以使用在制作工藝和電路設計上，低成本而高精度地進行大量的生產(chǎn)。其實傳統(tǒng)的壓力傳感器是在當金屬彈性體受到外力的作用而導致變形的時候，經(jīng)過機械量的彈性的變形，然后待電量轉換之后再輸出，因此，MEMS壓力傳感器的優(yōu)越性有很多，尺寸很小，性價比很高。它主要分為兩種：硅電容式和硅壓阻式。
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