（1）確定初始事件。初始事件可以是系統(tǒng)或設備的故障、人員的失誤或工藝參數偏移等可能導致事故發(fā)生的事件。初始事件一般依靠分析人員的經驗和有關運行、故障、事故統(tǒng)計資料來確定。

（2）判定安全功能。系統(tǒng)中包含許多能消除、預防、減弱初始事件影響的安全功能（安全裝置、操作人員的操作等）。常見的安全功能有自動控制裝置、報警系統(tǒng)、安全裝置、屏蔽裝置和操作人員采取措施等。

（3）發(fā)展事件樹和簡化事件樹。從初始事件開始，自左至右發(fā)展事件樹。首先把事件一旦發(fā)生時起作用的安全功能狀態(tài)畫在上面的分支，不能發(fā)揮安全功能的狀態(tài)畫在下面的分支。然后依次考慮每種安全功能分支的兩種狀態(tài)，層層分解直至系統(tǒng)發(fā)生事故或故障為止。

簡化事件樹是在發(fā)展事件樹的過程中，將與初始事件、事故無關的安全功能和安全功能不協(xié)調、矛盾的情況省略、刪除，達到簡化分析的目的。

（4）分析事件樹。事件樹各分支代表初始事件一旦發(fā)生后其可能的發(fā)展途徑，其中導致系統(tǒng)事故的途徑即為事故連鎖。

事件樹分析適合用來分析那些產生不同后果的初始事件。它強調的是事件可能發(fā)生的初始原因以及初始事件對事件后果的影響，事件樹的每一個分支都表示一個獨立的事件序列，對一個初始事件而言，每一獨立事件序列都清楚地界定了安全功能之間的功能關系。